- 采用中文窗口操作系统，操作性简便。
- 厚度测量极限:分辨率0.001um。
- 可测试项目:单层膜厚、双层膜厚、三层膜厚、化学镍膜厚、 铅合金膜厚及组成、压铸锌上镀铜、 二层同时测定、元素光谱分析。
- 油浸式微小焦点X线管，50KV管电压，由上而下垂直照射方式。
- 采用多频分析器，可快速处理能谱分析，可执行测定物之能谱分析表示，操作简单。
- 滤波器:采用Co、Ni金属及数字式滤波器，可单一或同时使用。
- 准直器：采用5种孔径一体式之Collimator(可设定任意切换方式)。
- 彩色样品观察系统，附有＋字刻度线，清楚显示测定位置。
- 客户、各部品番号、批号，可登录在频道内，共有300个测量频道数。
- 自动测定测量台，可使利用鼠标或摇杆来输入及调整测定位置，可登录储存100组自动测定频道，可作坐标补正及频道连结。
- 采用中文窗口作业软件，设计及打印测量报告，插入测量位置的彩色图片、非常容易。
- 可作数据统计处理及三次元之分布图案。
- 自动诊断机能，故障排除对策迅速。附有X线管的使用时间及寿命表示机能，加强保养的安全性。
- 测定资料可保存在频道内，在统计项目设定后可做统计处理。
适合行业：IC业、电镀业、电子业、精密工业、PCB业、装饰业。
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