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ベータ線膜厚計 BTC-221
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薄い物から厚い物まで 高精度な測定を可能にする 新システム
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ベータ線膜厚計 BTC-221の特長
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線源を交換する事で膜厚の薄い物から厚い物まで高精度で測定できます。
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マスクの交換により、小面積部も測定か。マルクは多数用意してあります。
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多点較正入力ができ(2~9点)、特殊なキャリブレーションカーブが簡単にプログラムできます。
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カウント補正がいつでもでき、GM管のウォーミングアップなしで高精度の測定ができます。
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キャリブレーションカーブは素材の一点補正で再校正できます。
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メモリされたキャリブレーションカーブは他チャンネルにコピーできます。
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測定単位は、μm、MI、mil、組成%、カウント%単位はいつでも変更でき、測定値は自動変換されます。
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ベータ線膜厚計 BTC-221の特別付属品
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プローブガイド MS-11
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プローブシステム H-5
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プローブガイド RE-5 120°
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プローブガイド RE-5 180°(スケール付)
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測定原理
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物質にベータ線を照射すると一部は吸収され、一部は透過されます。また一部は透過されます。また一部は後方に散乱し、その線量はその物質の厚みと核外電子数(電子番号)によって異なります。線量の増加が検出できなくなる飽和厚に達するまで、厚みが増えると後方散乱量が増加(又は減少)するので、下地の後方散乱量と皮膜のそれを比較することで厚みを測定することができます。 従って、下地と皮膜の原子番号の差が大きいほど測定精度は上がり、原子番号の差が小さいほど測定精度は低下します。原子番号の差が最低1割あれば皮膜の測定は可能です。 |
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ベータ線膜厚計 BTC-221の仕様
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| 型式(本体 |
RST-231型 |
| 測定原理 |
4探針電気抵抗式 |
| 測定モード |
1)厚み測定 2)ベータ線カウント測定 3)合金組成測定 |
| 測定時間 |
1~999秒 任意設定 |
| メモリー容量 |
40チャンネル |
| 表示 |
パソコンモニタ画面による |
| 統計処理 |
最大値、最小値、平均値、標準偏差、ヒストグラム、上下限値設定 |
| 電源 |
AC100~240V±10% 50/60Hz、10VA(本体) |
| 寸法 |
280(W)x230(D)x88(H) (本体) |
| 重量 |
3.0kg |
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(注)仕様は予告なく変更されることがあります。
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