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蛍光X線膜厚計 COSMOS-2X

 

小型省スペース
優れた操作性で極微小部を
最高の精度で測定

蛍光X線膜厚計 COSMOS-2X

蛍光X線膜厚計 COSMOS-2Xの特長

 

ダブルフィルタ採用

ニューメリックフィルタの他に、メカニカルフィルタ(ダブルフィルタ)の採用で、常に最高の精度が得られるように最適の条件で測定できます。



コリメータ5種類内臓

コリメータの最小が0.1φmmで極微小部の測定が可能。標準・0.1,0.2,0.5,1.0,2.0
更にオプションで2種類のスペシャル仕様を用意しました。
・0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
・0.05×0.5,0.1,0.2,0.3,0.5

   

報告書作成機能が充実

MS-WINDOUSソフト採用により、簡単に測定画面を取り込め、報告書作成機能が充実。マルチタスク機能で測定中でもレポート作成を含む他の処理が可能となりました。

自己診断機能及びX線管保守機能

自己診断機能により、機器トラブル解消に迅速に対処します。また、X線管の使用時間と耐久時間表示機能を付加し、保守安全性をサポート。

   

IBM/PCコンパティブル

IBM/PCコンパティブル対応型パソコンを使用。MS-WINDOUSの豊富なアプリケーションがそのまま使えます。

測定部モニタ画像の表示

X線照射部をWINDOWS画面に取り込み、X線照射部を表示。コリメータによって、大きさが変わる倍率変更機能を実現。

   

膜厚測定中のスペクトル表示

マルチチャンネルによるスペクトル分析高速処理により、簡単な操作で測定物のスペクトル表示を実行。(処理速度約2~3秒)

 
 

蛍光X線膜厚計 COSMOS-2Xの表示画面

 
測定時の画面 ヒストグラム 統計量表示 スペクトル測定
測定時の画面
ヒストグラム
統計量表示
スペクトル測定
x-R管理図      
x-R管理図
 

蛍光X線膜厚計 COSMOS-2Xの仕様

 
本体 寸法(mm) 362(W) × 425(D) × 486(H)
重量(kg) 44.2
ステージ タイプ 手動
寸法(mm) 170(W) × 100(D)
移動量 X(mm) 70
Y(mm) 70
Z(mm) 50
測定物 最大高さ(mm) 80(オプション95)
最大重量(kg) 3
コンピュータ 本体(mm) 180(W) × 420(D) × 360(H)
モニター(mm) 360(W) × 420(D) × 370(H)
プリンタ (mm) 500(W) × 250(D) × 350(H)
電源 電圧(V) AC100±10
周波数(Hz) 50/60
容量(VA) 700

(注)仕様は予告なく変更されることがあります。

 
X線源 油浸式小型微焦点X線管
ターゲット:タングステン
管電圧50kV
管電流:1.2mA MAX(可変)
照射方式 上面垂直照射方式
検出器 比例計数管
コリメータ 5種類(自動切換式)
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0φmm
(オプション)
:0.05×0.5,0.05φ
フィルタ 2種類(Co,Ni)自動切換
試料観察 CCDカラーカメラ
コンピュータ PC/AT 互換式
15インチカラーモニター
プリンタ インクジェットプリンタ
測定機能 単層めっき測定
2層めっき測定
3層めっき測定
合金膜厚成分比同時測定
スペクトル測定
測定対象 原子番号22(Ti)~82(Pb)
原子番号21以下は吸収法にて測定可能
測定可能範囲 原子番号22~24:0.2~約20μm
原子番号25~40:0.1~約30μm
原子番号41~51:0.2~約70μm
原子番号52~82:0.05~約10μm
検量線 検量線自動作成機能
マルチポイント検量線
補正機能 ベース補正
データ処理機能 統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、Cp、Cpk
ヒストグラム
プロファイル表示
測定データ3次元表示
x-R管理図
出力様式設定
安全機能 X線電源キースイッチ
フェールセーフ機能
その他の機能 パスワード機能
装置保守整備
 
 
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