HOME > 膜厚計製品一覧 > 蛍光X線膜厚計 EXX-531
製品一覧
 

蛍光X線膜厚計 EXX−531

 

すぐれた操作性で
極微小部を最高の精度で測定

蛍光X線膜厚計 EXX−531

蛍光X線膜厚計 EXX-531の特長

 

ダブルフィルタ

ニューメリックフィルタの他に、2種類のメカニカルフィルタを標準で装備しています。メカニカルフィルタを仕様することにより、Cu上のNi皮膜やZn上のCu皮膜なども高精度で測定できます。

自動測定ステージ・高速移動

測定部モニター画面上でマウス・クリックによる位置合わせや、多点連続自動測定ができます。また、マイクロステップ動作により、ステージ移動が従来機種よりスムーズ、かつ高速になりました

   

報告書作成機能が充実

コントロールソフトの報告書作成機能により、測定物の画像を含んだ測定結果報告書が簡単に作成できます。また市販のワープロソフトなどで、コピー&ペーストにより画像やデータを取り込むことができます。

コリメータ5種類内臓

コリメータの最小が0.1φmmで極微小部の測定が可能。標準・0.1,0.2,0.5,1.0,2.0
更にオプションで2種類のスペシャル仕様を用意しました。
・0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
・0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5

   

Y方向自動移動機能

ドアの開閉に伴い、測定位置から手前にテーブルが自動移動する為、測定物の設置が用意に行えます。

自己診断機能及びX線管保守機能

自己診断機能により、機器トラブル解消に敏速に対処します。また、X線管の使用時間と耐久時間表示機能を付加し保守安全性をサポート。

   

オートフォーカス機能で測定位置を敏速ゲット

オートフォーカス機能により、自動ステージの座標登録設定時及び測定時の焦点合わせは自動で行う為、大幅に操作が短縮され、更に作業者のミスを防止でき正確な測定ができます。

膜厚測定中のスペクトル表示

マルチチャンネルによるスペクトル分析高速処理により、簡単な操作で測定物のスペクトル表示を実行。

   

測定物のめっき付着分布をビジュアルに表示

3次元グラフ表示により測定物のめっき厚分布が一目瞭然で判ります。

 
 

蛍光X線膜厚計 EXX-531の表示画面

 
測定時の画面 測定報告書 統計量表示 スペクトル測定
測定時の画面
測定報告書(PDF)
統計量表示
スペクトル測定
自動測定位置確認 ヒストグラム 3次元グラフ x-R管理図
自動測定位置確認
ヒストグラム
3次元グラフ
x-R管理図
 

蛍光X線膜厚計 EXX-531の仕様

 
測定ヘッド部 サイズ(mm) 240 × 220
移動量 X(mm) 200
Y(mm) 180
Z(mm) 50
測定物高さ(最大) 50
コンピュータ 寸法(mm) 638(W)×503(D)×700(H)
重量(kg) 95
サンプル荷重(kg) 1
プリンタ 寸法(mm) 本体99(W)×383(D)×310(H)
/モニタ375(W)×190(D)×386(H)
重量(kg) 本体 8 / モニタ 4.3
プリンタ 重量(kg) 5.2
電源 AC100V±10V

(注)仕様は予告なく変更されることがあります。

 
X線源 油浸式小型微焦点X線管
ターゲット:タングステン
管電圧50kV
管電流可変
照射方式 上面垂直照射方式
検出器 比例計数管
コリメータ 5種類(自動切換式)
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0φmm
(オプション)
:0.05,0.1,0.2,0.3,0.5,φ
:0.05×0.5,0.5×0.05,0.1, 0.2, 0.5φ
試料観察 CCDカラーカメラ
コンピュータ PC/AT 互換式
17インチカラーモニター
プリンタ インクジェットプリンタ
測定可能範囲 原子番号22~24:0.2~約20μm
原子番号25~40:0.1~約30μm
原子番号41~51:0.2~約70μm
原子番号52~82:0.05~約10μm
補正機能 下地補正
フィルタ 2種類(Co,Ni)自動切換
アプリケーション 単層めっき測定
2層めっき測定
3層めっき測定
合金膜厚成分比同時測定
無電解ニッケル測定
測定対象 原子番号22(Ti)~82(Pb)
原子番号21以下は吸収法にて測定可能
測定機能 自動測定
スペクトル測定
2点間距離測定
簡易自動測定
自動テーブル機能 測定位置指定(X-Y-Z)
同一パターン繰り返し機能
原点補正機能
測定位置確認機能
オートフォーカス機能
データ処理機能 統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、Cp、Cpk
ヒストグラム
プロファイル表示
測定データ3次元表示
x-R管理図
安全機能 X線電源キースイッチ
フェールセーフ機能
その他の機能 ステージ座標表示
パスワード機能
装置保守整備
 
 
メールフォームからのお問い合わせ