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蛍光X線式膜厚計 COSMOS-3X

COSMOS-3X.jpg
 

小型省スペース
優れた操作性で極微小部を
最高精度で測定

・ダブルフィルタ採用で最高の精度、最適の条件で測定可能
・マルチタスク機能で測定中でもレポート作成を含む他の処理が可能
・コリメータの最小が0.05φmmで極微小部の測定が可能

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蛍光X線式膜厚計 COSMOS-3X の特長

ダブルフィルタ採用

ニューメリックフィルタの他に、メカニカルフィルタ(ダブルフィルタ)の採用で、常に最高の精度が得られるように最適の条件で測定できます。

報告書作成機能が充実

MS-Windowsソフト採用により、簡単に測定画面を取り込め、報告書作成機能が充実。マルチタスク機能で測定中でもレポート作成を含む他の処理が可能となりました。

コリメータ5種類内臓

コリメータの最小が0.1φmmで極微小部の測定が可能。標準・0.1,0.2,0.5,1.0,2.0
更にオプションで2種類のスペシャル仕様を用意しました。
・0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
・0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5

自己診断機能及びX線管保守機能

自己診断機能により、機器トラブル解消に敏速に対処します。また、X線管の使用時間と耐久時間表示機能を付加し保守安全性をサポート。

膜厚測定中のスペクトル表示

マルチチャンネルによるスペクトル分析高速処理により、簡単な操作で測定物のスペクトル表示を実行。(処理速度約2~3秒)

測定部モニタ画像の表示

X線照射部をWindows画面に取り込み、X線照射部を表示。コリメータによって、大きさが変わる倍率変更機能を実現。

 

 

Be窓X線管(オプション)による性能改善(高精度)について

   

            この度、蛍光X線式膜厚計EX-731にBe窓X線管(オプション)を用意させていただき
            ました。本オプションを使用することにより、Cr測定、Ni測定で繰り返し測定精度
            が格段に向上します。

       

            性能改善に関する解説

     

            高エネルギー(高原子番号)のSn測定は従来同等ですが、低エネルギー(低原子
         番号)のCrやNiの測定の場合は膜厚にもよりますがCrで3倍以上、Niで2倍以上繰り
         返し精度が向上しています。2層測定における表面層Auの場合は、わずかですが中
         間層Niは精度向上の寄与を受けて約2割改善されています。蛍光X線方式の膜厚計の
         場合、繰り返し測定精度(標準偏差)は得られている蛍光X線強度の発生過程に
         おける統計変動によるものであり、Be窓X線管(オプション)を適用する事により
         Crの場合従来標準機に比べて約9倍以上の蛍光X線強度が得られている事を示して
         います。したがって、従来と同等精度の測定が短時間で可能になります。
         是非このBe窓X線管の採用を御検討下さい。

 

測定時の画面

測定時の画面

 
ヒストグラム

ヒストグラム

 

蛍光X線式膜厚計 COSMOS-3X の仕様

タイプ 手動ステージ
測定ヘッド部 サイズ(mm) 170 × 110
移動量 X(mm) 70
Y(mm) 70
Z(mm) 80
測定物高さ(最大) 80
寸法(mm) 402(W)×430(D)×580(H)
重量(kg) 48
サンプル荷重(kg) 3
コンピュータ 寸法(mm) 本体182(W)×383(D)×372(H)
/モニタ412(W)×415(D)×432(H)
重量(kg) 本体 6.8 / モニタ 2.8
プリンタ 重量(kg) 3.4
電源 AC100V±10V

(注)仕様は予告なく変更されることがあります。

X線源 油浸式小型微焦点X線管
ターゲット:タングステン
管電圧50kV
管電流可変
照射方式 上面垂直照射方式
検出器 比例計数管
コリメータ 5種類(自動切換式)
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0φmm
(オプション)
:0.05,0.1,0.2,0.3,0.5,φ 
:0.05×0.5,0.5×0.05,0.1, 0.2, 0.5φ
試料観察 CCDカラーカメラ
コンピュータ PC/AT 互換式
15インチカラーモニター
プリンタ インクジェットプリンタ
測定対象 原子番号22(Ti)~82(Pb)
原子番号21以下は吸収法にて測定可能
フィルタ 2種類(Co,Ni)自動切換
測定可能範囲 原子番号22~24:0.02~約20μm
原子番号25~40:0.01~約30μm
原子番号41~51:0.02~約70μm
原子番号52~82:0.05~約10μm
検量線 検量線自動作成機能
マルチポイント検量線
補正機能 ベース補正
アプリケーション 単層めっき測定
2層めっき測定
3層めっき測定
合金膜厚成分比同時測定
無電解ニッケル測定
測定機能 出力様式設定
スペクトル測定
2点間距離測定
データ処理機能 統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、Cp、Cpk
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