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蛍光X線式膜厚計 EX-731

蛍光X線式膜厚計 EX-731

優れた操作性で極微小部を最高の精度で測定
大きなサイズの基盤も測定可能

・ダブルフィルタ採用で最高の精度、最適の条件で測定可能
・測定位置にマウスを合わせることにより敏速な位置合わせを実現
・マルチタスク機能で測定中でもレポート作成を含む他の処理が可能
・コリメータの最小が0.05φmmで極微小部の測定が可能

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蛍光X線式膜厚計 EX-731 の特長

ダブルフィルタ採用

ニューメリックフィルタの他に、メカニカルフィルタ(ダブルフィルタ)の採用で、常に最高の精度が得られるように最適の条件で測定できます。

自動測定ステージ

測定位置にマウスを合わせることにより敏速な位置合わせを実現。また、測定位置を登録しておけば、連続自動測定も可能。座標補正、チャンネルリンクにより各種パターンに対応。標準板較正も自動測定が可能です。

報告書作成機能が充実

MS-Windowsソフト採用により、簡単に測定画面を取り込め、報告書作成機能が充実。マルチタスク機能で測定中でもレポート作成を含む他の処理が可能となりました。

コリメータ5種類内臓

コリメータの最小が0.1φmmで極微小部の測定が可能。標準・0.1,0.2,0.5,1.0,2.0
更にオプションで2種類のスペシャル仕様を用意しました。
・0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
・0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5

自己診断機能及びX線管保守機能

自己診断機能により、機器トラブル解消に敏速に対処します。また、X線管の使用時間と耐久時間表示機能を付加し保守安全性をサポート。

膜厚測定中のスペクトル表示

マルチチャンネルによるスペクトル分析高速処理により、簡単な操作で測定物のスペクトル表示を実行。(処理速度約2~3秒)

測定部モニタ画像の表示

X線照射部をWindows画面に取り込み、X線照射部を表示。コリメータによって、大きさが変わる倍率変更機能を実現。

測定物のめっき付着分布をビジュアルに表示

3次元グラフ表示により測定物のめっき厚分布が一目瞭然で判ります。

 

 

Be窓X線管(オプション)による性能改善(高精度)について

   

            この度、蛍光X線式膜厚計EX-731にBe窓X線管(オプション)を用意させていただき
            ました。本オプションを使用することにより、Cr測定、Ni測定で繰り返し測定精度
            が格段に向上します。

       

            性能改善に関する解説

     

            高エネルギー(高原子番号)のSn測定は従来同等ですが、低エネルギー(低原子
         番号)のCrやNiの測定の場合は膜厚にもよりますがCrで3倍以上、Niで2倍以上繰り
         返し精度が向上しています。2層測定における表面層Auの場合は、わずかですが中
         間層Niは精度向上の寄与を受けて約2割改善されています。蛍光X線方式の膜厚計の
         場合、繰り返し測定精度(標準偏差)は得られている蛍光X線強度の発生過程に
         おける統計変動によるものであり、Be窓X線管(オプション)を適用する事により
         Crの場合従来標準機に比べて約9倍以上の蛍光X線強度が得られている事を示して
         います。したがって、従来と同等精度の測定が短時間で可能になります。
         是非このBe窓X線管の採用を御検討下さい。

 

測定時の画面

測定時の画面

自動測定位置確認

自動測定位置確認

ヒストグラム

ヒストグラム

3次元グラフ

3次元グラフ

蛍光X線式膜厚計 EX-731 の仕様

タイプ 手動ステージ 自動ステージ
測定ヘッド部 サイズ(mm) 170 × 110 300 × 280
移動量 X(mm) 70 80
Y(mm) 70 60
Z(mm) 80(測定物の高さ最大150) 50
測定物高さ(最大) 80(オプション150) 50
寸法(mm) 600(W)×465(D)×730(H)
重量(kg) 79 85
サンプル荷重(kg) 3 2
コンピュータ 寸法(mm) 本体182(W)×383(D)×372(H)
/モニタ412(W)×415(D)×432(H)
重量(kg) 本体 6.8 / モニタ 2.8
プリンタ 重量(kg) 3.4
電源 AC100V±10V

(注)仕様は予告なく変更されることがあります。

X線源 油浸式小型微焦点X線管
ターゲット:タングステン
管電圧50kV
管電流可変
照射方式 上面垂直照射方式
検出器 比例計数管
コリメータ 5種類(自動切換式)
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0φmm
(オプション)
:0.05,0.1,0.2,0.3,0.5,φ 
:0.05×0.5,0.5×0.05,0.1, 0.2, 0.5φ
試料観察 CCDカラーカメラ
コンピュータ PC/AT 互換式
17インチカラーモニター
プリンタ インクジェットプリンタ
測定対象 原子番号22(Ti)~82(Pb)
原子番号21以下は吸収法にて測定可能
フィルタ 2種類(Co,Ni)自動切換
測定可能範囲 原子番号22~24:0.02~約20μm
原子番号25~40:0.01~約30μm
原子番号41~51:0.02~約70μm
原子番号52~82:0.05~約10μm
検量線 検量線自動作成機能
マルチポイント検量線
補正機能 ベース補正
アプリケーション 単層めっき測定
2層めっき測定
3層めっき測定
合金膜厚成分比同時測定
無電解ニッケル測定
測定機能 自動測定
出力様式設定
スペクトル測定
2点間距離測定
自動テーブル機能 測定位置指定(X-Y-Z)
同一パターン繰り返し機能
原点補正機能
測定位置確認機能
自動較正
データ処理機能 統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、Cp、Cpk
ヒストグラム
プロファイル表示
測定データ3次元表示
x-R管理図
安全機能 X線電源キースイッチ
フェールセーフ機能
その他の機能 ステージ座標表示
パスワード機能
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