蛍光X線式膜厚計
原子番号22（Ti）以上の金属の膜厚を測定します。
二層めっき、三層めっき各々の膜厚の同時測定や合金皮膜の膜厚・組成同時測定も可能です。
ニューメリックフィルタの他に、2種類のメカニカルフィルタを標準で装備しているので、Cu上のNi皮膜やZn上のCu皮膜なども高精度で測定が可能。
製品一覧
蛍光X線式膜厚計 EX-851
蛍光X線式膜厚計 EX-851の特長
選べる２つの測定モード
２つのモードから選択可能で、
用途に合わせたスムーズな測定作業を可能にします。
マルチ測定・マルチ検量線
座標登録してレーザーポイント照射位置から複数点を
自動測定します。複数点それぞれを異なる検量線で測定可能です。
膜厚測定中のスペクトル表示
膜厚測定中のスペクトル表示マルチチャンネルによるスペクトル分析高速処理により、簡単な測定物のスペクトル表示を実行（処理速度2～3秒）
測定部モニタ画面の表示
Ｘ線照射部をWindows画面に取り込み、X線照射部を表示。
コリメータによって、大きさが変わる倍率変更機能を実現。
自動測定モード
レーザポインタ照射位置に測定物をセットし、ドアを閉めるとステージが自動で移動、
測定までを自動で行います。
手動測定モード
レーザポインタ照射位置に測定物をセットし、ドアを閉めるとステージが自動で移動、
フォーカスを合わせる動作までを行います。
オートフォーカス機能を搭載
レーザーオートフォーカス採用。
自動で焦点合わせを行うので作業スピードが向上します。
測定台の移動精度 １μm
測定台の移動精度向上（現行製品比５０倍）で、座標設定での
連続測定や指定位置への移動で、正確なステージ移動を行います。
ダブルフィルタ採用
ニューメリックフィルタの他に、メカニカルフィルタ（ダブルフィルタ）の採用で、常に最高の精度が得られるように最適の条件で測定できます。
報告書作成機能が充実
MS-Windowソフト採用により、簡単に測定画面を取り込め、報告書作成機能が充実。マルチタスク機能で測定中でレポート作成を含む他の処理が可能です。
コリメータ５種類内蔵
コリメータの最小が0.1φmmで極微小部の測定が可能。標準・0.1、0.2、0.5、1.0、2.0。
さらにオプションで、スペシャル仕様も用意しました。
自己診断機能およびX線管保守機能
自己診断機能により、機器トラブル解消に即時対処します。また、Ｘ線管の使用時間と耐久時間表示機能を付加し、保守安全性をサポート。
蛍光X線式膜厚計 EX-851 の実績事例
東京都Y社
先めっき
台湾
小物部品
蛍光X線式膜厚計 EX-851 の仕様
※下の表は左右にスワイプすることができます
| EX-851 | 測定テーブルサイズ(mm) | 200 x 200 | |
|---|---|---|---|
| 移動量 | X(mm) | 200 | |
| Y(mm) | 200 | ||
| Z(mm) | 90 | ||
| 測定物高さ(mm) | 90 | ||
| 寸法(mm) | 740(W) × 530(D) × 660(H) ※突起物を含まない | ||
| 重量(kg) | 85 | ||
| サンプル荷重(kg) | 1 | ||
| コンピュータ | 寸法(mm) | 本体 182(W) x 383(D) × 372(H) | |
| モニタ 412(W) x 415(D) × 432(H) | |||
| 重量(kg) | 本体 6.8 / モニタ 2.8 | ||
| プリンタ | 重量(kg) | 3.4 | |
| 電源 | AC100V±10V | ||
| X線源 | 油浸式小型微焦点X線管 |
|---|---|
| ターゲット:タングステン | |
| 管電圧50kV | |
| 管電流可変 | |
| 照射方式 | 上面垂直照射方式 |
| 検出器 | 比例計数管 |
| コリメータ | 5種類(自動切換式) |
| 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0Φmm | |
| (オプション) | |
| : 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5,Φ | |
| : 0.05×0.5,0.5×0.05, 0.1, 0.2, 0.5gΦ | |
| 試料觀察 | (CCDカラーカメラ(オートフォーカス) |
| コンピュータ | PC/AT互換式 |
| 17インチカラーモニター | |
| プリンタ | インクジェットプリンタ |
| 測定对象 | 原子番号22(Ti) ~82(Pb) |
| 原子番号21以下は吸収法にて測定可能 | |
| フィルタ | 2種類(Co,Ni) 自動切換 |
| 測定可能範囲 | 原子番号22~24: 0.02~約20μm |
| 原子番号25~40:0.01~約30μm | |
| 原子番号41~51: 0.02~約70μm | |
| 原子番号52~82 : 0.05~約10μm | |
| 検量線 | 検量線自動作成機能 |
| マルチポイント検量線 | |
| 補正機能 | ベース補正 |
| アプリケーション | 単層めっき測定 |
| 2層めっき測定 | |
| 3層めっき測定 | |
| 合金膜厚成分比同時測定 | |
| 無電解ニッケル測定 | |
| 測定機能 | 自動測定 |
| 出力様式設定 | |
| スペクトル測定 | |
| 2点間距離測定 | |
| 自動テーブル機能 | オートフォーカス |
| 測定位置指定(X-Y-Z) | |
| 原点補正機能 | |
| 測定位置確認機能 | |
| 自動較正 | |
| データ処理機能 | 統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、cp、Cpk |
| ヒストグラム | |
| プロファイル表示 | |
| 測定データ3次元表示 | |
| X-R管理図 | |
| 安全機能 | X線電源キースイッチ |
| フェールセーフ機能 | |
| その他の機能 | ステージ座標表示 |
| 装置保守整備 |
蛍光X線式膜厚計 EX-731
蛍光X線式膜厚計 EX-731の特長
ダブルフィルタ採用
ニューメリックフィルタの他に、CoとNi2種類のメカニカルフィルタの採用により、Cu上のNi、Zn上のCuという原子番号が隣接した素地、皮膜の組み合わせでも精度良い測定ができます。
自動測定ステージ
自動ステージタイプでは次のような機能を利用できます。
・連続自動測定 ・マウスクリックによる位置合わせ ・2点間の距離測定 ・全自動校正 ・画内分布デー測定
統計処理機能
各種統計量やグラフの表示・印刷ができます。
スリット付きカバー
本体カバーにスリットが付いているので、長い測定物でも切らずに測定できます。
コリメータ５種類内蔵
標準で0.1、0.2、0.5、1.0、2.0mmφの5種類のコリメータを内蔵。
更にオプションで0.05mmφや0.05mmφ×0.5mmφのコリメータを用意しています。
コントロールソフト ExWin
操作はWindowsパソコン上のコントロールソフトExWinで行い、簡単に操作できます。表計算ソフトなどでのデータの取り込みが簡単にできます。
Be窓X線管
Be窓X線管が使えるようになりました。Be窓X線管を使用することにより、0.05mmφなどの小さいコリメータでの測定や、TiやCrなど軽元素の測定が精度良くできます。
蛍光X線式膜厚計 EX-731 の導入事例
神奈川県S社
Ni-P/Brなど
愛知県N社
測定台が大きいカスタマイズ品を導入、Ag/Cuなど
台湾
Sn/Cuなど
蛍光X線式膜厚計 EX-731 の仕様
※下の表は左右にスワイプすることができます
| タイプ | 手動ステージ | 自動ステージ | ||
|---|---|---|---|---|
| 測定ヘッド部 | サイズ(mm) | 170 × 110 | 300 × 280 | |
| 移動量 | X(mm) | 70 | 80 | |
| Y(mm) | 70 | 60 | ||
| Z(mm) | 80(測定物の高さ最大150) | 50 | ||
| 測定物高さ(最大) | 80 (オプション150) | 50 | ||
| 寸法(mm) | 600(W)×465(D)×730(H) | |||
| 重量(kg) | 79 | 85 | ||
| サンプル荷重(kg) | 3 | 2 | ||
| コンピュータ | 寸法(mm) | 本体182(W)×383(D)×372(H) /モニタ412(W)×415(D)x432(H) |
||
| 本体 6.8 / モニタ2.8 | ||||
| 重量(kg) | 3.4 | |||
| 電源 | AC100V+10V | |||
| X線源 | 油浸式小型微焦点X線管 ターゲット:タングステン 管電圧50kV 管電流可変 |
|---|---|
| 照射方式 | 上面垂直照射方式 |
| 検出器 | 比例計数管 |
| コリメータ | 5種類(自動切換式) 10.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0Φmm (オプション) : 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5,Φ : 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1, 0.2, 0.5Φ |
| 試料観察 | CCDカラーカメラ |
| コンピュータ | PC/AT互換式 17インチカラーモニター |
| プリンタ | インクジェットプリンタ |
| 測定対象 | 原子番号22 (Ti) ~82 (Pb) 原子番号21以下は吸収法にて測定可能 |
| フィルタ | 2種類(CO,Ni) 自動切換 |
| 測定可能範囲 | 原子番号22~24: 0.02~約20μm 原子番号25~40: 0.01~約30μm 原子番号41~51: 0.02~約70μm 原子番号52~82: 0.05~約10μm |
| 検量線 | 検量線自動作成機能 マルチポイント検量線 |
| 補正機能 | ベース補正 |
| アプリケーション | 単層めっき測定 2層めっき測定 3層めっき測定 合金膜厚成分比同時測定 無電解ニッケル測定 |
| 測定機能 | 自動測定 出力様式設定 スペクトル測定 2点間距離測定 |
| 自動テーブル機能 | 測定位置指定(X-Y-Z) 同一パターン繰り返し機能 原点補正機能 測定位置確認機能 自動較正 |
| データ処理機能 | 統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、CP、Cpk ヒストグラム プロファイル表示 測定データ3次元表示 X-R管理図 |
| 安全機能 | X線電源キースイッチ フェールセーフ機能 |
| その他の機能 | ステージ座標表示 パスワード機能 装置保守整備 |
蛍光X線式膜厚計COSMOS-3X
蛍光X線式膜厚計 COSMOS-3Xの特長
ダブルフィルタ採用
ニューメリックフィルタの他に、CoとNi2種類のメカニカルフィルタの採用により、Cu上のNi、Zn上のCuという原子番号が隣接した素地、皮膜の組み合わせでも精度良い測定ができます。
コリメータ５種類内蔵
標準で0.1、0.2、0.5、1.0、2.0mmφの5種類のコリメータを内蔵。
更にオプションで0.05mmφや0.05mmφ×0.5mmφのコリメータを用意しています。
自己診断機能による保守
自動診断機能により、機器トラブル解消に迅速に対処します。
また、Ｘ線管の使用時間と残り寿命時間を表示し、保守性をサポート。
コントロールソフト ExWin
操作はWindowsパソコン上のコントロールソフトExWinで行い、簡単に操作できます。表計算ソフトなどでのデータの取り込みが簡単にできます。
統計処理機能
各種統計量やグラフの表示・印刷ができます。
Be窓X線管
Be窓X線管が使えるようになりました。Be窓X線管を使用することにより、0.05mmφなどの小さいコリメータでの測定や、TiやCrなど軽元素の測定が精度良くできます。
蛍光X線式膜厚計 COSMOS-3X の導入事例
東京都K社
Ni-P/Brsなど
台湾
Pd・Snめっきなど
蛍光X線式膜厚計 COSMOS-3X の仕様
※下の表は左右にスワイプすることができます
| タイプ | 手動ステージ | ||
|---|---|---|---|
| 測定ヘッド部 | サイズ(mm) | 170 × 110 | |
| 移動量 | X(mm) | 70 | |
| Y(mm) | 70 | ||
| Z(mm) | 80 | ||
| 測定物高さ(最大) | 80 | ||
| 寸法(mm) | 402 (W)×430(D)×580(H) | ||
| 重量(kg) | 48 | ||
| サンプル荷重(kg) | 3 | ||
| コンピュータ | 寸法(mm) | 本体182(W)×383(D)×372(H) /モニタ412(W)×415(D)x432(H) |
|
| 本体 6.8 / モニタ2.8 | |||
| 重量(kg) | 3.4 | ||
| 電源 | AC100V+10V | ||
| X線源 | 油浸式小型微焦点X線管 ターゲット:タングステン 管電圧50kV 管電流可変 |
|---|---|
| 照射方式 | 上面垂直照射方式 |
| 検出器 | 比例計数管 |
| コリメータ | 5種類(自動切換式) 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0Φmm (オプション) : 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5, Φ : 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1, 0.2, 0.5Φ |
| 試料観察 | CCDカラーカメラ |
| コンピュータ | PC/AT 互換式 15インチカラーモニター |
| プリンタ | インクジェットプリンタ |
| 測定対象 | 原子番号22(Ti) ~82(Pb) 原子番号21以下は吸収法にて測定可能 |
| フィルタ | 2種類(Co,Ni) 自動切換 |
| 測定可能範囲 | 原子番号22~24: 0.02~約20μm 原子番号25~40: 0.01~約30μm 原子番号41~51: 0.02~約70μm 原子番号52~82: 0.05~約10μm |
| 検量線 | 検量線自動作成機能 マルチポイント検量線 |
| 補正機能 | ベース補正 |
| アプリケーション | 単層めっき測定 2層めっき測定 3層めっき測定 合金膜厚成分比同時測定 無電解ニッケル測定 |
| 測定機能 | 出力様式設定 スペクトル測定 2点間距離測定 |
| データ処理機能 | 統計量表示:平均、標準偏差、最大、最小、レンジ、CP、Cpk ヒストグラム プロファイル表示 X-R管理図 |
| 安全機能 | X線電源キースイッチ フェールセーフ機能 |
| その他の機能 | パスワード機能 装置保守整備 |
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